真空系统

真空系统是质谱仪设计中的基础平台，本节文档旨在描述Cell质谱仪对于真空系统的需求和实现方式，同时规范在真空腔设计中所需要的一些外围设备。

真空腔及结构

泵

真空测量

抽气循环